據日媒報道,佳能(Canon)位于日本宇都宮市的新光刻機制造工廠將于9月正式投入量產,主攻成熟制程及后段封裝應用設備,為全球芯片封裝與成熟制程市場提供更多設備產能支持。
據悉,這座新工廠是佳能在2023年開始動工建設的,并可能使用自家開發的Nanoimprint(納米壓印)技術,總投資額超過500億日元,涵蓋廠房與先進制造設備。新廠面積達6.75萬平方公尺,投產后將使光刻設備總產能提升50%。
佳能董事長兼CEO Fujio Mitarai表示:“新工廠生產的設備匯集了佳能所有的技術實力。”
有報道稱,佳能重新關注成熟設備的原因在于生成式AI的熱潮。隨著電路微型化正接近極限,佳能發現此前用于前端的光刻設備可以用來形成中介層布線,于2011年率先推出用于后端工藝的光刻設備。時至今日,佳能仍幾乎擁有所有主要半導體制造商用于后端工藝的光刻設備。