?7月14日，華海清科股份有限公司全資子公司芯崳半導體（上海）有限公司自主研發(fā)的首臺12英寸低溫離子注入機iPUMA-LT順利出機，并發(fā)往國內(nèi)邏輯芯片制造領(lǐng)域的龍頭企業(yè)。

華海清科實現(xiàn)了面向先進制程芯片制造的大束流離子注入機各型號的全覆蓋。離子注入裝備是集成電路制造前道工藝的關(guān)鍵裝備，技術(shù)壁壘極高，國內(nèi)集成電路制造企業(yè)長期以來主要依賴進口裝備，國產(chǎn)替代空間巨大。

目前，華海清科已推出大束流離子注入機系列裝備，并積極布局中束流離子注入機及高能離子注入機等系列裝備。