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西湖儀器:超薄片單晶金剛石加工技術新突破!

發(fā)表于:2025-07-09 來源:半導體產業(yè)網 編輯:

?近日,西湖儀器發(fā)布攻克了超薄片單晶金剛石剝離技術,成功剝離出厚度<100μm的單晶金剛石超薄片。該技術在單晶金剛石加工領域帶來了顛覆性的創(chuàng)新突破,不僅極大地降低生產成本,更將大幅提升加工效率,為超薄片單晶金剛石在高端電子、量子科技、高端光學窗口等多個前沿科技領域的廣泛應用奠定基礎。

超薄片單晶金剛石

西湖儀器研發(fā)的激光隱切技術利用激光在材料內部進行非接觸改性加工,能夠精確控制激光在材料內部的作用位置,從而實現超薄金剛石單晶片的分離。該技術可兼容多種加工尺寸,分片效率高,材料損耗小。無論加工1英寸還是未來的4英寸、6英寸金剛石,材料損耗始終控制在100μm甚至更小水平;相較傳統(tǒng)激光剝離,該技術極大提升了加工效率,以加工1英寸為例,耗時<30min。

超薄片單晶金剛石的應用前景

高端電子領域:金剛石基高功率器件(如SBD、FET)、熱管理材料(如金剛石熱沉、GaN-on-Diamond)以及高頻射頻器件等。

光電顯示領域:精密光學測量、強激光加工設備和極端環(huán)境下的化學過程監(jiān)控等光學窗口材料。

量子科技領域:基于金剛石NV色心的量子傳感器、量子計算等。

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