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天科合達(dá)申請(qǐng)?jiān)谯釄鍍?nèi)部放置石墨件來(lái)提升碳化硅粉料利用率的專利,能夠明顯提高原料利用率

發(fā)表于:2025-03-31 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

 國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種在坩堝內(nèi)部放置石墨件來(lái)提升碳化硅粉料利用率的方法”的專利,公開(kāi)號(hào)CN 119663431 A,申請(qǐng)日期為2025年2月。

專利摘要顯示,本發(fā)明提供了一種用于物理氣相傳輸法生長(zhǎng)碳化硅單晶的坩堝,所述坩堝包括坩堝主體以及設(shè)置在坩堝中的多孔石墨件;所述多孔石墨件為側(cè)面具有對(duì)稱凹面的圓柱形多孔石墨件或單頁(yè)雙曲面形狀的石墨件。本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種高效、快捷地改善溫場(chǎng)和流場(chǎng)的坩堝,能夠明顯的提高物理氣相傳輸法生長(zhǎng)碳化硅單晶過(guò)程中原料的利用率。本發(fā)明采用物理氣相傳輸法,結(jié)合碳化硅晶體生長(zhǎng)熱力學(xué)、動(dòng)力學(xué)和結(jié)晶學(xué)過(guò)程,在坩堝底部安裝自研的兩邊凹的空心圓柱形多孔石墨件,石墨件可以起到優(yōu)化溫度場(chǎng)和調(diào)控物質(zhì)傳輸過(guò)程、改善原料中部氣體輸運(yùn)通道重結(jié)晶導(dǎo)致氣相組分輸運(yùn)困難,確保碳化硅原料被充分利用,實(shí)現(xiàn)原料利用率最大化的目的。

天眼查資料顯示,北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司,成立于2006年,位于北京市,是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本50600萬(wàn)人民幣,實(shí)繳資本50600萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析,北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司共對(duì)外投資了8家企業(yè),參與招投標(biāo)項(xiàng)目256次,財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息42條,專利信息159條,此外企業(yè)還擁有行政許可148個(gè)。

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