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寧波材料所在超寬禁帶半導(dǎo)體基日盲紫外探測領(lǐng)域取得系列進展

發(fā)表于:2025-03-26 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

?日盲紫外探測器(200-280nm)作為國防安全與環(huán)境監(jiān)測的“火眼金睛”,在森林火災(zāi)預(yù)警、深空探測等領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。然而,傳統(tǒng)硅基器件受限于4.42 eV光子能量閾值,難以實現(xiàn)本征日盲特性,同時還存在暗電流高和熱穩(wěn)定性差等瓶頸。中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所硅基太陽電池及寬禁帶半導(dǎo)體團隊葉繼春研究員張文瑞研究員的帶領(lǐng)下,以鎵系超寬禁帶半導(dǎo)體氧化物(Ga2O3和ZnGa2O4為核心材料,圍繞其本征日盲特性和耐極端環(huán)境等優(yōu)勢展開攻關(guān),在缺陷調(diào)控、器件設(shè)計和系統(tǒng)應(yīng)用方面取得系列研究進展。

?針對日盲紫外探測器響應(yīng)度和響應(yīng)速度難以協(xié)同提升的技術(shù)瓶頸,研究團隊借鑒缺陷工程思路,發(fā)展了調(diào)控外延缺陷空間分布與表面缺陷鈍化技術(shù),有效提高了光生載流子的選擇性輸運和快速收集能力,顯著提升了金屬-半導(dǎo)體-金屬型日盲紫外探測器件性能(光響應(yīng)度>104 A/W,探測能力>1016 Jones,紫外-可見抑制比>104),并實現(xiàn)了日盲紫外信號的成像展示(如圖1)。相關(guān)成果發(fā)表在學(xué)術(shù)期刊ACS Applied Materials & InterfacesMaterials Today Physics上。

圖1?微米級ε-Ga2O3厚膜載流子輸運調(diào)控機制及性能對比

面向探測器件的低功耗和自驅(qū)動應(yīng)用需求,研究團隊利用能帶工程設(shè)計和構(gòu)建了4H-SiC/ZnGa2O4和p-NiO/i-Ga2O3/n-Ga2O3異質(zhì)結(jié)自供能日盲紫外探測器。其中,4H-SiC/ZnGa2O4器件實現(xiàn)了零偏壓工作,獲得0.115A/W的高響應(yīng)度,量子效率高達58.4%,并且器件在無外接偏壓的條件下,成功完成了光通信功能驗證。進一步研發(fā)了面向弱光探測的ε-Ga2O3/BaSnO3異質(zhì)結(jié)雪崩光電探測器,在46.5V反向偏壓下實現(xiàn)1.5×104 A/W的超高響應(yīng)度,雪崩增益達1.6×106,創(chuàng)下同類器件性能紀(jì)錄(如圖2)。該成果為深空探測等極端環(huán)境下的弱光信號檢測提供了創(chuàng)新解決方案。相關(guān)成果發(fā)表在學(xué)術(shù)期刊Applied Physics Letters、ACS Applied Materials & InterfacesMaterials Today Physics上。

圖2?自驅(qū)動光通信系統(tǒng)工作原理示意圖

研究團隊進一步探索日盲紫外探測器在保密通信中的應(yīng)用,構(gòu)建了p-NiO/n-ZnGa2O4異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管,并發(fā)現(xiàn)柵壓調(diào)控光電流極性切換現(xiàn)象。該器件在0/40 V柵壓調(diào)控下,光電流實現(xiàn)了34.53 μA/-164.08 μA的可逆切換?;诖颂匦?,團隊設(shè)計了光電異或邏輯門方案,以柵極電壓和日盲紫外光作為輸入、漏源電流作為輸出。通過調(diào)控柵極電壓對光信號進行編碼,使通信信號被截獲,若無正確的加密信號,接收方仍無法解析原始光信息,從而實現(xiàn)信息的動態(tài)加密,有效確保數(shù)據(jù)傳輸?shù)陌踩裕ㄈ鐖D3),相關(guān)成果發(fā)表在學(xué)術(shù)期刊ACS Photonics上。


圖3?光電異或邏輯門實現(xiàn)安全光通信的原理圖

未來,研究團隊將持續(xù)深化鎵系超寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件的基礎(chǔ)研究,加快推動新型紫外探測器的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,助力我國在高性能光電探測領(lǐng)域的技術(shù)突破與工程實踐。

?相關(guān)成果

ACS Applied Materials & Interfaces


Directional Carrier Transport in Micrometer-Thick Gallium Oxide Films for High-Performance Deep-Ultraviolet Photodetection

DOI: 10.1021/acsami.3c00124

Materials Today Physics


Photocarrier transport reconstruction and dramatical performance enhancement in ultrawide-bandgap ε-Ga2O3 photodetectors via surface defect passivation

DOI: 10.1016/j.mtphys.2023.101280

Applied Physics Letters


High-performance self-powered solar-blind ultraviolet photodetector based on a 4H-SiC/ZnGa2O4 heterojunction and its application in optical communication

DOI: 10.1063/5.0178815

ACS Applied Materials & Interfaces


Interface-Engineered High-Performance Self-Powered Solar-Blind Photodetector based on NiO/ε-Ga2O3 Heterojunctions

DOI: 10.1021/acsami.5c00309

Materials Today Physics


High performance solar blind avalanche photodetector based on a single-crystalline ?-Ga2O3/BaSnO3 heterojunction

DOI: 10.1016/j.mtphys.2024.101385

ACS Photonics


Gate-Tunable Current Polarity Switching in p-NiO/n-ZnGa2O4 Heterojunction Field-Effect Phototransistors for Secure Optical Communication

DOI: 10.1021/acsphotonics.4c02509

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項目支持

國家自然科學(xué)基金

62204244、62304227

中國科學(xué)院人才項目

浙江省自然科學(xué)基金

LZ21F040001、LQ23F040003、LQ23F040005

寧波市甬江引才工程科技創(chuàng)新團隊

2021A-046-C

(來源:中國科學(xué)院寧波材料所)

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