?Micro-LED是一種由微米級(jí)LED發(fā)光像素組成的陣列顯示技術(shù)，具有自發(fā)光、高分辨率、高亮度、高效率、高對(duì)比度、低功耗、高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命等優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是革命性的新型顯示技術(shù)。對(duì)Micro-LEDs發(fā)散角、出光方向、偏振等出光特性進(jìn)行調(diào)控，將在3D Micro-LED和AR顯示等有重要應(yīng)用。

中南大學(xué)汪煉成聯(lián)合中科院半導(dǎo)體研究所、湖南大學(xué)團(tuán)隊(duì)等近年一直致力原位集成超表面光場(chǎng)調(diào)控Micro-LED器件研究。11月19-21日，其相關(guān)成果在蘇州舉行的第十屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS 2024)上報(bào)道：通過(guò)鍵合、CMP等工藝，首次提出并實(shí)現(xiàn)垂直結(jié)構(gòu)F-P諧振腔Mini/Micro-LED器件，光譜半高寬從常規(guī)24nm減小到15nm，發(fā)光方向性提高16.4%【Applied Physics Letters 121.20(2022)】；通過(guò)原位集成亞波長(zhǎng)金屬光柵，首次報(bào)道線偏振Micro-LED,TM/TE=6.2倍，等效消光比為14dB,并通過(guò)沉積介質(zhì)膜和反射鏡側(cè)壁工程，進(jìn)一步提高偏振比【Applied Physics Letters 122.11(2023)；Applied Physics Letters 124.11(2024)】；首次提出圓偏振Micro-LED，橫電波反射率超過(guò)80％，消光比達(dá)到38 dB以上【Optics Letters 46.11 (2021): 2666-2669】;首次設(shè)計(jì)報(bào)道指向發(fā)光Micro-LED，實(shí)現(xiàn)高效率寬角度范圍指向出光，以及任意角度出光和雙角度指向出光【Optics Letters 46.14 (2021): 3476-3479】。

圖1：光場(chǎng)調(diào)控Micro-LED示意圖（更多數(shù)據(jù)可查閱對(duì)應(yīng)文獻(xiàn)）（a）線偏振Micro-LED；（b）圓偏振Micro-LED；（c）諧振腔Micro-LED；（d）指向發(fā)光Micro-LED；