北京大學(xué)物理學(xué)院凝聚態(tài)物理與材料物理研究所、寬禁帶半導(dǎo)體研究中心、人工微結(jié)構(gòu)和介觀物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室許福軍、沈波團(tuán)隊(duì)創(chuàng)新提出AlGaN基深紫外LED研制的新技術(shù)路線，成功實(shí)現(xiàn)了高性能垂直注入器件的晶圓級(jí)制備。相關(guān)成果以“晶圓尺寸垂直注入III族氮化物深紫外發(fā)光器件”（Wafer-scale vertical injection III-nitride deep-ultraviolet light emitters）為題，于2024年10月30日發(fā)表在《自然·通訊》（Nature Communications）。?

AlGaN基深紫外光源在生物醫(yī)療、公共衛(wèi)生、國(guó)防等領(lǐng)域有重要應(yīng)用，是國(guó)家的重大需求。目前，深紫外LED面臨電光轉(zhuǎn)換效率低下的難題，其根源是受器件內(nèi)部多界面全反射制約，大部分深紫外光無(wú)法提取，導(dǎo)致器件光提取效率低下。通過激光剝離藍(lán)寶石襯底，暴露器件外延層表面并進(jìn)行微納結(jié)構(gòu)加工，是解決該難題的有效手段。但該方法在基于AlN/藍(lán)寶石模板的深紫外LED路線中難以實(shí)施：一方面剝離AlN/藍(lán)寶石需極短波長(zhǎng)（低于210 nm）、極大功率激光器，并且在激光剝離過程中，AlN會(huì)分解產(chǎn)生固態(tài)Al金屬滴，造成極大的局部應(yīng)力，使外延薄膜龜裂。?

針對(duì)上述難題，北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)提出了一種基于GaN/藍(lán)寶石模板的深紫外LED制備新技術(shù)路線，通過極高Al組分AlGaN層預(yù)置裂紋，實(shí)現(xiàn)器件結(jié)構(gòu)層與GaN層的應(yīng)力解耦，得到表面無(wú)裂紋的深紫外LED晶圓，同時(shí)預(yù)置裂紋可有效緩沖剝離過程中的局部應(yīng)力。該技術(shù)路線充分利用了Ga金屬滴在激光剝離過程中為液態(tài)的優(yōu)點(diǎn)，采用常規(guī)的355 nm短波長(zhǎng)激光器實(shí)現(xiàn)了深紫外LED外延結(jié)構(gòu)2~4英寸晶圓級(jí)無(wú)損傷剝離，并成功制備出垂直注入器件，有效提升了光提取效率。200 mA注入電流下，發(fā)光波長(zhǎng)280 nm的深紫外LED光輸出功率達(dá)65.2 mW。

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圖a：4英寸深紫外LED外延薄膜的無(wú)損傷激光剝離，圖b：GaN模板刻蝕后SEM圖像，圖c：深紫外LED外延薄膜表面糙化SEM圖像，圖d：垂直注入深紫外LED光鏡圖像，圖e：器件電致發(fā)光光譜，圖f：器件出光功率及外量子效率，圖g：器件出光遠(yuǎn)場(chǎng)分布。?

北京大學(xué)特聘副研究員王嘉銘、博士生冀晨和博雅博士后郎婧為該論文共同第一作者，許福軍教授和沈波教授為共同通訊作者。該工作得到了葛惟昆教授的指導(dǎo)和幫助，北京大學(xué)寬禁帶半導(dǎo)體研究中心張立勝、康香寧、秦志新、楊學(xué)林、唐寧、王新強(qiáng)等老師和部分同學(xué)亦對(duì)該工作做出了貢獻(xiàn)。?

該工作得到了科技部國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金、北京市科委重大項(xiàng)目、北京順義區(qū)科技項(xiàng)目及北京中博芯半導(dǎo)體公司等企業(yè)的大力支持。?

論文原文鏈接

https://www.nature.com/articles/s41467-024-53857-3

（來(lái)源：凝聚態(tài)物理與材料物理研究所）