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中機新材——團聚金剛石技術,賦能晶圓減薄新高度

發表于:2024-11-01 來源:半導體產業網 編輯:

一、團聚金剛石,開啟晶圓磨拋新時代——中機新材技術引領

在晶圓磨拋的道路上,中機新材始終走在前列。我們深知,技術是推動行業發展的關鍵。因此,中機新材不斷投入研發,創新性地發展了團聚金剛石技術,為晶圓減薄砂輪的性能提升注入了新的活力。

二、團聚技術,優勢顯著

團聚金剛石技術是中機新材在金剛石減薄砂輪領域的一大創新。通過這一技術,我們能夠有效地解決微粉磨料的軟團聚問題,提高混料的均勻性。

同時,團聚金剛石還具有更高的硬度和強度,能夠更好地滿足晶圓減薄過程中對磨削能力的需求。這一技術的應用,使得中機新材的金剛石減薄砂輪在加工效率、加工質量和使用壽命上均取得了顯著提升。

三、工藝精湛,品質卓越

除了團聚金剛石技術外,結合日本住友工藝來生產晶圓減薄砂輪。這一工藝確保了砂輪組織結構的均勻性和批次穩定性,為產品的卓越品質提供了有力保障。

中機新材的晶圓減薄用陶瓷金剛石砂輪系列,涵蓋了600#、800#、1000#、2000#、8000#等多種粒度,能夠滿足不同客戶的加工需求。、

公司還具備生產30000#砂輪的技術能力,為更精細的加工提供了可能。特殊的制程工藝,加上金剛石砂輪硬度高、強度大、研削能力強的性能,可以做到其他金剛石磨料無法達到的表面質量。

且產品應用范圍也很廣泛,但主要用于研削硬質合金、非金屬材料等硬脆材料,尤其碳化硅、單晶硅材質。

四、SiC減薄工藝中的關鍵因素與砂輪選擇

在SiC減薄工藝中,主軸減薄轉速和進給速率對于去除速率和減薄質量有著一定影響。而砂輪參數則對于SiC減薄具有決定性的影響。為了獲得理想的減薄效果,需要平衡砂輪的鋒利度(穩定性)和壽命的關系。合適的砂輪孔隙率和燒結工藝決定了砂輪是否可以有效去除SiC,同時減少減薄過程中的砂輪損耗和保持其穩定性。

針對不同能力的機臺,可以根據機臺主軸功率、最大轉速和進給速率,選擇合適的砂輪來兼顧生產效率、生產質量和砂輪損耗。在采用砂輪工藝進行SiC減薄時,控制砂輪穩定性和提高砂輪壽命往往是一對矛盾的關系。為了開發新的減薄砂輪,中機新材會根據客戶端的設備和工藝參數,進行一系列的測試和調整,來平衡穩定性和壽命的問題,確保為客戶提供最合適的耗材和解決方案。

五、產品多樣,服務廣泛

中機新材的金剛石減薄砂輪系列涵蓋了多種粒度和結合劑類型,能夠滿足不同客戶的加工需求。無論是SiC晶圓還是其他硬脆材料的加工,我們都能提供合適的研磨拋光解決方案。同時,我們還提供專業的技術支持和售后跟蹤服務,確保客戶在使用過程中得到最全面的支持。

展望未來,中機新材將繼續深耕金剛石減薄砂輪領域,不斷推出更多創新技術和優質產品,為半導體產業的發展貢獻更多力量。

?(來源:中機新材)

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